半导体检查显微镜产品介绍
半导体检查显微镜MX61L
能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用）
应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等，实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台，能应对大型样本。
半导体／FPD检查显微镜MX61L
半导体／FPD检查显微镜MX61L
观察影像实例
晶圆（明视场观察） 晶圆（暗视场观察）
晶圆（微分干涉观察） 彩色滤色片（透射观察）
半导体检查显微镜技术参数
半导体／FPD检查显微镜 MX61L 规格 | |||
光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正） | ||
机身 | 观察方法 | 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 | |
反射/透射 | 反射/透射 | ||
照明装置 | 机身一体型（明视场，暗视场＋1选件） | ||
照明系统 | 反射照明 | 100 W卤素/100 W水银/75 W氙 | |
透射照明 | 纤维光导 | ||
对焦单元 | 电动/手动 | 手动 | |
行程 | 32 mm | ||
分辨率/微调灵敏度 | 微调旋钮转动1周移动0.1 mm | ||
最大样本高度 | 30 mm | ||
物镜转换器 | 电动型 | 明视场微分干涉6孔 | |
手动式 | - | ||
载物台 | 行程 | 14×12 英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm（透射照明范围356×284 mm） | |
观察筒 | 广角视场（视场数22） | 倒置 | 双目/三目观察筒 |
正像 | 三目观察筒 | ||
超宽视场（视场数26.5） | 倒置 | 三目观察筒 | |
正像 | 倾斜三目观察筒 | ||
附件单元 | DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载 | ||
外形尺寸 | 710（W）×843（D）×507（H）mm（标准组合） | ||
重量 | 51 kg（标准组合） | ||
半导体检查显微镜标准配置
配置 | ||
序号 | 名称 | 数量 |
1 | 主机 | 1 |
2 | 光学系统 | 1 |
3 | 照明装置 | 1 |
4 | 对焦单元 | 1 |
5 | 物镜转换器 | 1 |
6 | 载物台（可选） | 1 |
7 | 观察筒（可选） | 1 |
8 | 附件单元 | / |
半导体检查显微镜可选配件
半导体检查显微镜相关视频
半导体检查显微镜资料下载
半导体检查显微镜相关产品
Leica DM4 B 或 Leica DM6 B正置双目生物显微镜都是生物医学研究和临床实验应用的理想之选，能显著提升工作效率，令您的工作变得更加轻松。通过自动化功能和便捷的软件简化工作流程。
型号:DM2500 LED
Leica DM2500 和 DM2500 LED 显微镜是生命科学常规和研究应用中应对艰巨任务的终极工具。凭借强大的透射光照明、高品质的光学性能以及技术先进的附件，Leica DM2500 和 DM2500 LED 特别适合要求微分干涉相衬或高性能荧光等颇具挑战性的生命科学研究任务。
