分析型扫描电镜产品介绍
EVO 18 是一款具有处理各种材料能力的分析型显微镜，为您提供优异的成像品质。
标配能谱仪和波谱仪（EDS & WDC）接口，另有用于高级形貌与化学分析的全集成式颗粒分析和识别解决方案可供选择。通过升级LaB6高亮度光源将与X射线分析相关的探针电流性能提升至一个全新的水准。
EVO 18 扫描电镜的五象限背散射电子探测器（BSE）有助于增强低电压性能及提供更丰富的形态信息。对于非导电样品，电子束衬管技术可有效提高分辨率。
EVO 18 Research 是学术和研究机构使用的一款分析型扫描电子显微镜。EVO 18 Research 为您提供优异的成像品质，具有处理多种材料的能力。结合SmartSEM 软件的易用性，使其成为多种研究应用的合适之选，范围涵盖半导体和电子技术、地质科学及材料研究。
产品特点
• 业内先进的X射线几何结构以及标配能谱仪和波谱仪（EDS & WDS）
• 五象限背散射电子探测器（BSE）为您提供更丰富的形态信息
• 可变电压功能用于分析较少制备的非接触式样品
• 可移动的显微镜样品台用于观察大型样品
• 配备钨光源和可供选择的LaB6 光源
• 优质的生产工艺，曾荣获2011年英国最佳电子电气工厂奖以及欧特克产品与工艺大奖
利用BSE探测器在5象限对滤纸的成像
分析型扫描电镜技术参数
分辨力 | 3 nm (2 nm) @ 30 kV SE and W (LaB6) |
4 nm @ 30 kV VP mode | |
20 nm (9 nm) @ 1 kV SE and W (LaB6) | |
电压 | 0.2 -30 kV |
探针电流 | 0.5 pA to 5 μA |
放大倍率 | < 5 - 1,000,000x |
视野 | 分析工作距离（AWD）为6 mm |
X射线几何 | 8.5 mm AWD和35°起飞角 |
OptiBeam模式 | 分辨率，深度，分析，鱼眼领域 |
压力范围 | 10 – 400 Pa |
可用的探测器 | ETSE - Everhart-Thornley二次电子探测器（标配） |
BSD - 五段二极管背向散射电子探测器（标配） | |
VPSE - 可变压力二次电子探测器 | |
SCD - 试样电流检测器 | |
EDS - 能量色散谱仪 | |
WDS - 波长色散光谱仪 | |
CL - 阴极发光检测器 | |
STEM - 扫描透射电子显微镜检测器 | |
工作室尺寸 | 365毫米（Ø）x 275毫米（高） |
5轴电动试样台 | X = 125 mm，Y = 125 mm Z = 50 mm电动（最大样品高度延伸至145 mm，在Z轴，倾斜和旋转模块已移除的情况下） T = -10 to 90°，R = 360°（连续） 通过鼠标，操纵杆或控制面板控制工作台 |
未来的可升级路径选项 | BeamSleeve |
图像帧库 | 分辨率：扫描速度为2或更高时，最高可达32k x 24k |
通过积分平均法来获取信号 | |
图像显示 | 高清晰屏幕 |
具有双通道显示功能 | |
系统操作 | SmartSEM ** GUI由鼠标和键盘操作 |
多语言Windows®操作系统 | |
实用需求 | 100 - 230 V，50或60 Hz单相 |
无需水冷 | |
操纵杆、键盘、美国控制面板和鼠标 |
注：*OptiBeam - 有源色谱柱控制，可实现最高分辨率，最大视野或最佳景深
* SmartSEM - 第六代SEM控制图形用户界面
